此系列閥門分為氣動驅(qū)動方式，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，外形美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。

特點(diǎn)

       軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設(shè)計(jì)；

       閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率??；

       閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀；

       采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu)，運(yùn)動平穩(wěn)；閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

主要性能指標(biāo)：

適用范圍：1×10-7Pa～1.2×105Pa

打開時(shí)插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向

閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s

建議首次維修前循環(huán)次數(shù)：10，000次

閥體烘烤溫度：打開時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃

安裝位置：任意

電源：氣動驅(qū)動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

壓縮空氣（只適用于氣動）：DN 63~200：0.4～0.7MPa

DN 250~400：0.5～0.7MPa

閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間：氣動驅(qū)動：DN 63~250 ≤6s；

DN 320~400 ≤10s

閥門位置指示：電動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示開關(guān)（微動開關(guān)）