nXDS20i 是下一代無油的干式渦旋泵，可在應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。 氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。 具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。

用途

· 一般清潔泵送應(yīng)用

· 電子掃描顯微鏡 - SEM

· 射束線和高能物理

· 前級(jí)渦輪泵

· 速離心機(jī)

· 覆層

· 低溫學(xué)

· 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

· 蒸餾/萃取/過濾

· 冷凍干燥

· 熔爐

· 凝膠體干燥

· 實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空

· 激光、氣體回收和再循環(huán)

· 氦檢漏儀

· 負(fù)載鎖和傳輸腔

· 稀有氣體再循環(huán)

· 稀有氣體回收

· 冷凍制造

· 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

· SEM/FIB（離子束維修）

· 溶劑回收

· 表面科學(xué)儀器

特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

· 真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染

· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長

· 簡單的單側(cè)滾軸布置與新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間

· 改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本

· 接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

數(shù)據(jù)