閥式油封機(jī)械泵（簡(jiǎn)稱(chēng)滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵，但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。滑閥真空泵目前分為單級(jí)H型和雙極2H型兩種型號(hào)，比較老的還有MH，1401系列，目前 基本淘汰。

簡(jiǎn)介

滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上?；y泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵≤0.6Pa，對(duì)大泵≤1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級(jí)泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。

由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑閥沒(méi)有很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此小廠很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡?？梢酝ㄟ^(guò)動(dòng)平衡測(cè)試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。

結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

羅茨滑閥真空機(jī)組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級(jí)泵串聯(lián)組成的真空機(jī)組。通過(guò)真空繼電器或電接點(diǎn)壓力表，來(lái)實(shí)現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動(dòng)啟閉，自動(dòng)過(guò)載保護(hù)。整套機(jī)組安裝在一個(gè)機(jī)架上，配以管道、閥門(mén)、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。

根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及極限壓力的不同，真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長(zhǎng)時(shí)間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機(jī)組為了防止滑閥泵停機(jī)時(shí)返油，在前級(jí)進(jìn)口管道上裝有電磁充氣閥，其動(dòng)作與前級(jí)泵電動(dòng)機(jī)實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確?；y泵內(nèi)的真空油返回到油箱內(nèi)，同時(shí)防止真空系統(tǒng)受到真空油污染。