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INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中，測量壓強從2x10負6至下1000毫巴(1．5*10負6至750乇)。HPG400提供高度的重復性和再現(xiàn)性壓強測量，用于濺射過程的壓強控制。
