FFl60/620C型復(fù)合分子泵是一種機械式真空泵,是由渦輪抽氣級和盤形牽引壓縮級
組合而進(jìn)行抽氣的,它同時具有渦輪抽氣大抽速的特點,又具有牽引泵高壓縮比的特點,
在高壓強—卜具有較大的抽速(7Pa時,抽速達(dá)130L/s)。對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)、
操作簡單、使用方便。由于對分子量大的氣體具有很高的壓縮比,因此在運車專過程中,
高真空區(qū)域不會受到油蒸汽的虧染,該泵不需要冷阱和油擋板,即可獲得清潔的高真空
和超高真空環(huán)境。它廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件的
制造及真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。