此系列閥門(mén)分為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,外形美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。
特點(diǎn)
軸封為波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,無(wú)潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì);
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率??;
閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu),體積小、重量輕,外形美觀;
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu),運(yùn)動(dòng)平穩(wěn);閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu),支撐力均勻。
主要性能指標(biāo):
適用范圍:1×10-7Pa~1.2×105Pa
打開(kāi)時(shí)插板上的壓差:≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:1.3×10-7Pa·L·s
建議首次維修前循環(huán)次數(shù):10,000次
閥體烘烤溫度:打開(kāi)時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置:任意
電源:氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W
壓縮空氣(只適用于氣動(dòng)):DN 63~200:0.4~0.7MPa
DN 250~400:0.5~0.7MPa
閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉時(shí)間:氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):DN 63~250 ≤6s;
DN 320~400 ≤10s
閥門(mén)位置指示:電動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)(微動(dòng)開(kāi)關(guān))