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在前級(jí)真空泵所造成的低真空條件下，加熱泵內(nèi)硅油或擴(kuò)散泵油，使受熱沸騰蒸發(fā)，生成蒸汽，以極高速度通過該泵的各級(jí)噴口的縫隙噴出，使容器內(nèi)部的氣體分子擴(kuò)散到蒸汽中被帶到前級(jí)真空泵所能作用的位置，由前級(jí)真空泵迅速抽出，使系統(tǒng)達(dá)到高真空的要求。
