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INFlCON皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計,PSG500,PSG502-S,PSG510-S和
PSG512-S,采用市場可提供的先進數(shù)字皮拉尼技術(shù),堅固耐用的不
銹鋼傳感室和小型的設(shè)計結(jié)構(gòu)使它們成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體系統(tǒng)以及標(biāo)
準(zhǔn)場合,如前級真空管道中。