此系列閥門分為氣動驅動方式，結構設計合理，外形美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，能廣泛應用于超高真空設備中。

特點

       軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；

       閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率??；

       閥體采用加強筋結構，體積小、重量輕，外形美觀；

       采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩(wěn)；閥板內(nèi)整體式結構，支撐力均勻。

主要性能指標：

適用范圍：1×10-7Pa～1.2×105Pa

打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向

閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s

建議首次維修前循環(huán)次數(shù)：10，000次

閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃

安裝位置：任意

電源：氣動驅動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

壓縮空氣（只適用于氣動）：DN 63~200：0.4～0.7MPa

DN 250~400：0.5～0.7MPa

閥門開啟或關閉時間：氣動驅動：DN 63~250 ≤6s；

DN 320~400 ≤10s

閥門位置指示：電動驅動：帶有啟閉位置指示開關（微動開關）