在需要無油泵時，滾軸泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的軸承護罩，將真空環(huán)境與潤滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場合。

XDS100B 是滾軸增壓泵，具備針對高抽速用途的泵送機械裝置。與增壓泵一樣，它需要與主泵一同使用，適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時，XDS100B 針對大抽速進行了優(yōu)化，因此適合吞吐量的 LCMS 應(yīng)用。的泵設(shè)計使得末端密封磨損消失，也就減少了維修干預，盡可能延長正常運行時間。

變換器驅(qū)動允許泵連接到單相電源，控制著電機的特性，泵總是以優(yōu)化速度運行，并使用戶可以對泵進行遠程控制。

滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來產(chǎn)生非接觸式新月形氣泡，并通過軌道運行不斷對其進行壓縮。這意味著，與油密封旋轉(zhuǎn)泵不同，在泵移動量中不需要密封劑或潤滑劑。

特點優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長

無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用

簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計意味著維護工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間

變換器驅(qū)動可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz

參數(shù)