干泵腔內無任何潤滑油，四對斷面相同的轉子，分別在它們各自的泵腔內固定在兩個平行的軸上，用一對時限齒輪把它們連接并調整到使它們相互不接觸，有一定的間隙。
沈科儀 SKY 渦旋干式真空泵簡介
干泵腔內無任何潤滑油，四對斷面相同的轉子，分別在它們各自的泵腔內固定在兩個平行的軸上，用一對時限齒輪把它們連接并調整到使它們相互不接觸，有一定的間隙。干泵工作時，泵腔容積不斷周期性地發(fā)生變化，由大到小和由小到大，這樣利用氣體通道的啟閉作用實現抽氣作用，并且采用拼接成套的結構，細小雜質和灰塵可通過氣道和氣體一起排出泵外，泵的連續(xù)工作入口壓力為5000Pa，可直排大氣。
