在需要無油泵時，滾軸泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的軸承護罩，將真空環(huán)境與潤滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場合。

XDS100B 是滾軸增壓泵，具備針對高抽速用途的泵送機械裝置。與增壓泵一樣，它需要與主泵一同使用，適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時，XDS100B 針對大抽速進行了優(yōu)化，因此適合吞吐量的 LCMS 應用。的泵設(shè)計使得末端密封磨損消失，也就減少了維修干預，盡可能延長正常運行時間。

變換器驅(qū)動允許泵連接到單相電源，控制著電機的特性，泵總是以優(yōu)化速度運行，并使用戶可以對泵進行遠程控制。

滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來產(chǎn)生非接觸式新月形氣泡，并通過軌道運行不斷對其進行壓縮。這意味著，與油密封旋轉(zhuǎn)泵不同，在泵移動量中不需要密封劑或潤滑劑。

特點優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長

無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用

簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計意味著維護工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間

變換器驅(qū)動可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz

參數(shù)