當前標簽：上海三井離子泵
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濺射離子泵(SP)可獲得清潔無油超高真空，它具有許多獨特的優(yōu)點，已得到廣泛的應用。特點：沒有工作液，不污染系統(tǒng)；無震動、無噪聲；工作壓強范圍寬(1x10負4-1x10負11托)；壽命長，在1x10負7托工作壽命可達30年；不用真空計可知真空
