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擴(kuò)散泵擴(kuò)散泵油是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。工作原理擴(kuò)散泵擴(kuò)散泵油中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口
