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◆概述:ZDF―X型系列電阻/電離復(fù)合真空計(jì)是基于壹路電阻單元獨(dú)立完成低真空(1×105~1×10-1Pa)測(cè)量;另一路電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與電離單元(ZJ-27電離規(guī))技術(shù)組合為復(fù)合單