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◆技術(shù)參數(shù)：ZDF―Ⅱ型系列熱偶/電離復(fù)合真空計(jì)是基于低真空測(cè)量熱偶單元(ZJ-51熱偶規(guī))與高真空測(cè)量電離單元(ZJ-2電離規(guī))技術(shù)組合，以完成4×101~1×10-5Pa的測(cè)量與控制
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◆概述：ZDF―Ⅲ型系列電阻/電離復(fù)合真空計(jì)是基于低真空測(cè)量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測(cè)量電離單元(ZJ-10電離規(guī))技術(shù)組合，以完成1×105~1×10-4Pa連續(xù)測(cè)量與控制
