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◆概述：ZDF―Ⅰ型系列熱偶/電離復(fù)合真空計(jì)是基于低真空測(cè)量熱偶單元(ZJ-53/54D熱偶規(guī))與高真空測(cè)量電離單元(ZJ-27電離規(guī))技術(shù)組合，以完成4×102~1×10-5Pa連續(xù)
